气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪详细介绍 JB/T 8554-1997 上海傲颖智能

更新时间：2024-08-26

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气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪是一种用于测量薄膜与基体之间附着力的专业设备。以下是对该试验仪的详细介绍：

一、基本原理

气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪通过在涂覆了薄膜的材料表面施加一定的机械压力，造成划痕，从而观察薄膜在各个层次下的脱离行为。通过对划痕的观察和分析，可以得到薄膜的附着力值，进而评估其性能。薄膜的附着力不仅影响其在基体表面的稳定性，还决定了其在使用过程中性能的优劣。

该试验仪主要由以下部件组成：

控制系统：PLC+Windows系统，提供稳定可靠的控制环境。
操作界面：彩色触摸屏15寸，嵌入式工业电脑，操作简便直观。
样品尺寸：长方体：长40～50mm，宽30～45mm，高6～20mm；或圆柱体φ(40～45)mm×(6～20)mm。
样品要求：试样在温度(20±5)℃和相对湿度(50±10)%RH的条件下至少放置8h，以确保测试结果的准确性。
压头规格：按GB/T 2848规定的条件选择金刚石压头（顶角120°，顶端半径R在200μm±5μm范围内），并在不小于40倍的显微镜下检测压头，确认其顶端是光滑洁净的球面后方可使用。
划痕速度：(10±1)mm/min，可在触摸屏上任意设置。
加载速率：对硬质薄膜为(20～40)N/min；对非硬质薄膜为(5～10)N/min。
精度：0.03N，确保测试结果的准确性。
电机：伺服电机86型+驱动器，提供稳定的动力输出。
运动模式：丝杆+导轨，精度0.001mm，确保测试过程中的高精度运动。
测试高度范围：0-100mm，满足不同样品的测试需求。
测试模式：往复式运动，可单线运动，工业电脑触摸屏上设置，灵活方便。
运动范围：Y距离0-900mm，Y距离0-540mm，确保测试过程中的充分运动。
用电：220V，120W，20A，50hz，符合一般实验室用电要求。
外形尺寸：约1000mm600640mm，便于在实验室中安装和使用。

气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪广泛应用于电子器件、光学器件及微机电系统(MEMS)等应用中，对于确保产品质量和性能具有重要意义。通过对薄膜附着力的评估，科研人员可以优化沉积工艺、选择适宜的材料，从而提高产品的整体效果和使用寿命。

进行气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验时，一般遵循以下操作步骤：

样品准备：将气相沉积的薄膜样品固定在试验台上，确保表面平整且清洁。
调整施力装置：根据需要测试的薄膜类型和所需的力量进行设置，确保施力均匀。
进行划痕测试：启动施力装置，使划痕头在样品表面上进行划痕。可以通过调整速度和力度来试验不同的条件。
观察与记录：使用成像系统实时监测划痕过程，记录划痕的宽度、深度等参数。通过精确的测试仪器和方法，可以获得丰富的材料数据，为产品优化设计和工艺改进提供坚实的基础。